质量流量控制器(又称MFC)中设置有一个气体流量调节阀门，阀门能使通过控制器的】流量从零调节到测量的满量程，在工作的过々程当中，控制器的入口和出口之间会产生一个气压降，即压差。

MFC的工作压差范围

      MFC的工作压差范围通常为0.1～0.3MPa，若压差低于最低值(0.1 MPa)，有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.3MPa)，有可能关闭时流量不能小于2%F.S。

用户使用MFC需要注意：

      用户使用MFC时，无论用户工作的反应室是真空还是高压，应做到使MFC进出气两端的压差☉保持在所要求压差范围之内，并且要◥求气压要相对稳定。

用户使用挥发性液体蒸发汽需要注意：

??部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源，气压很低，用普通MFC，不能正常工作。这时用▓户需要向供货商特别声明，定制低压降的质量流量控制器。通常可以定制工作压差》低于0.01MPa的MFC，这时MFC的工作压差范围，也会变小。

      注意使用挥发性液体蒸发汽时，不能让汽化▅物在MFC中结露，结露会影响MFC的正常ζ工作。为了防止结露，可以对管路和MFC适当加温，但MFC的工作环境温度通常不得超过50℃。如ζ　果用户要MFC的工作环境温度超过65℃以上，需』要特殊购买高温MFC产品。